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论文编号: 1725110120160223
第一作者所在部门:
论文题目: 原子层沉积生长电学性质可调ZnO薄膜工艺
论文题目英文:
作者: 张思敏
论文出处:
刊物名称: 微纳电子技术
年: 2016
卷:
期: 9
页: 605
联系作者: 卢维尔
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