论文编号: 1725110120160203
第一作者所在部门:
论文题目: Junction Control by Carbon and Phosphorus Co-Implantation in Pre-Amorphized Germanium
论文题目英文:
作者: 刘金彪
论文出处:
刊物名称: ECS Journal of Solid state science and tehchnology
: 2016
: 6
: 5
: 315
联系作者: 叶甜春
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