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论文编号: 1725110120160199
第一作者所在部门:
论文题目: 小尺寸器件的金属栅平坦化新技术
论文题目英文:
作者: 赵治国
论文出处:
刊物名称: 真空科学与技术学报
年: 2016
卷: 36
期: 9
页: 1030
联系作者: 赵治国,殷华湘
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