小尺寸器件的金属栅平坦化新技术--中国科学院微电子研究所

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论文编号:	1725110120160199
第一作者所在部门:
论文题目:	小尺寸器件的金属栅平坦化新技术
论文题目英文:
作者:	赵治国
论文出处:
刊物名称:	真空科学与技术学报
年:	2016
卷:	36
期:	9
页:	1030
联系作者:	赵治国,殷华湘
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