Boron nitride as two dimensional dielectric: Reliability and dielectric breakdown--中国科学院微电子研究所

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论文编号:	1725110120160180
第一作者所在部门:
论文题目:	Boron nitride as two dimensional dielectric: Reliability and dielectric breakdown
论文题目英文:
作者:
论文出处:
刊物名称:	Applied Physics Letters
年:	2016
卷:	108
期:	012905
页:	012905-1
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