| 论文编号: | 1725110120160154 |
| 第一作者所在部门: | |
| 论文题目: | A MEMS thermal shear stress sensor produced by a combination of substrate-free structures with anodic bonding technology |
| 论文题目英文: | |
| 作者: | 欧毅 |
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| 刊物名称: | Applied Physics Letters |
| 年: | 2016 |
| 卷: | |
| 期: | 109 |
| 页: | 023512-1 |
| 联系作者: | 谢常青 |
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科研产出