Simulation and fabrication of thin film bulk acoustic wave resonator--中国科学院微电子研究所

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论文编号:	1725110120160153
第一作者所在部门:
论文题目:	Simulation and fabrication of thin film bulk acoustic wave resonator
论文题目英文:
作者:	韩茜茜
论文出处:
刊物名称:	Journal of Semiconductors
年:	2016
卷:	37
期:	7
页:	074009-1
联系作者:	欧毅
收录类别:
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