论文编号: 1725110120160112
第一作者所在部门:
论文题目: The effect of nitridation and sulfur passivation for In (0.53)Ga (0.47)As surfaces on their Al/Al2O3/InGaAs MOS capacitors properties
论文题目英文:
作者: 林子曾
论文出处:
刊物名称: 半导体学报
: 2016
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: 2
: 1
联系作者: 李海鸥
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