A CMOS MEMS IR device based on double-layer thermocouples--中国科学院微电子研究所

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论文编号:	1725110120160073
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论文题目:	A CMOS MEMS IR device based on double-layer thermocouples
论文题目英文:
作者:
论文出处:
刊物名称:	Microsystem Technologies
年:	2016
卷:
期:	22
页:	1163
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