| 论文编号: | 1725110120160051 |
| 第一作者所在部门: | |
| 论文题目: | Development of MEMS IR source by compound release process with nano-scale silicon forest radiation layer |
| 论文题目英文: | |
| 作者: | 刘卫兵 |
| 论文出处: | |
| 刊物名称: | IEEE sensor |
| 年: | 2016 |
| 卷: | |
| 期: | 1 |
| 页: | 739 |
| 联系作者: | 明安杰 |
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科研产出