Fabrication and characterization of SiO2/Si heterogeneous nanopillar arrays--中国科学院微电子研究所

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论文编号:	1725110120160038
第一作者所在部门:
论文题目:	Fabrication and characterization of SiO2/Si heterogeneous nanopillar arrays
论文题目英文:
作者:	毛海央
论文出处:
刊物名称:	Nanotechnology
年:	2016
卷:	27
期:	27
页:	305301-1
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