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  • 姓名： 陈大鹏
  • 性别： 男
  • 职称： 研究员
  • 职务： 
  • 学历： 博士
  • 电话： 
  • 传真： 
  • 电子邮件： dpchen@ime.ac.cn
  • 所属部门： 
  • 通讯地址： 北京市朝阳区北土城西路3号

    简　　历：

    社会任职：

  •  

    研究方向：

  • 微细加工技术

    承担科研项目情况：

  • (1)“九五”国家重点科技项目97－762“0.1-0.35微米集成电路关键技术研究”的子专题97－762－03 “先进的深亚微米工艺技术”；

    (2)科学院重大创新方向性项目“电子束缩小投影光刻机（SCALPEL）”的子课题“投影电子束掩模研制”；

    (3)科技部863项目“多传感器及阵列传感器集成”；

    (4)科技部863项目“无掩模光刻系统”；

    (5)科技部863项目；

    (6)自然基金仪器专项“新型光学读出非制冷红外成像系统”；

    (7)自然基金“悬臂梁微尖端阵列器件加工及应用技术研究”；

    (8)中科院知识创新方向性项目。

    代表论著：

    专利申请：

    获奖及荣誉：

  • 2003年“0.1-0.35微米集成电路关键技术研究”获北京市科技进步一等奖

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