1964年4月出生于江西丰城，微电子科学与技术专家。1985年本科毕业于合肥工业大学，1988年获该校硕士学位，1998年于北京航空航天大学获博士学位。2000年被聘为中国科学院微电子研究所研究员和纳米加工与新器件集成技术研究室主任。2008年获得国家杰出青年基金资助。现任中国科学院微电子研究所研究员、博士生导师。2015年当选为中国科学院院士。 

任中国真空学会第六届理事、中国材料学会青年委员会常务理事、同时担任中国科学院半导体研究所半导体材料重点实验室学术委员会委员和中国科学院物理所微加工实验室学术委员会副主任。

2004年获国务院政府津贴；

国家技术发明二等奖3项（2013年（排名第1）、2007年（排名第2）、2005年（排名第4））；

国家科技进步二等奖1项（2009年（排名第4））；

中国电子学会科学技术奖自然科学类一等奖（2015年（排名第1））；

北京市科学技术一等奖2项（2010年（排名第1）、2003年（排名第10））；

北京市科学技术二等奖2项（2014年（排名第1）、2002年（排名第3））；

中国真空科技成就奖（2012年）；

中科院杰出成就奖（2014年（排名第8））。