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  • 姓名： 李超波
  • 性别： 男
  • 职称： 研究员
  • 职务： 研发中心主任
  • 学历： 工学博士
  • 电话： 010-82995651
  • 传真： 010-82995687
  • 电子邮件： lichaobo@ime.ac.cn
  • 所属部门： 微电子仪器设备研发中心
  • 通讯地址： 北京市朝阳区北土城西路3号

    简　　历：

  • 教育背景 

    1997-2001 山东大学 通信与信息系统 理学学士 

    2002-2007 中国科学院微电子研究所 微电子学与固体电子学工学博士　　 

    工作简历 

    2007.07至今，在中国科学院微电子研究所工作，现为研究员、博士生导师、微电子仪器设备研发中心主任

    社会任职：

    研究方向：

  • 新原理纳米加工工艺与装备、MEMS制造与传感技术、智能装备 

    承担科研项目情况：

  •  

    代表论著：

    专利申请：

    获奖及荣誉：

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