中国半导体行业协会MEMS分会理事
中国微米纳米技术学会委员
中国科学院青年创新促进会会员
中国宇航学会光电技术专业委员会委员
MEMS传感器设计、建模和仿真;CMOS-MEMS兼容工艺与工程化平台整合研究;面向MEMS传感器应用的微弱信号处理与恢复,MEMS-IC 界面电路系统设计与实现研究
1. 中国科学院战略性先导科技专项(A类)“深海/深渊智能技术及海底原位科学实验站”“深海原位智能芯片传感器集成和应用” ,2019/1-2023/12。
2. 国家重点研发计划项目,“微纳传感器与电路单片集成工艺技术及平台”,2019.07-2022.06
3. 国家科技重大专项课题任务,极大规模集成电路制造装备及成套工艺,“MEMS典型产品技术与设计服务平台”;
4. 国家高技术研究发展计划(863计划),“多功能硅基微纳器件及系统的设计与制造”;
5. 中国科学院科技服务网络计划(STS计划)项目,物联网核心芯片及应用技术,2015.06-2017.06。
人才队伍