教育背景

美国佛罗里达国际大学电子工程系，摩托罗拉纳米工程中心，光学博士。（2009年）

中国科学技术大学物理系，物理学学士。（2003年）

工作简历

中国科学院微电子研究所微电子仪器设备研发中心, 副研究员。（2010年-）

专注于纳米尺度物质的结构测量及物性表征方法研究，及相关仪器的系统级研发。

科研方向

1）新型扫描探针测量。

2）超宽频带偏振光谱测量

3）光学散射表征技术。

4）光学干涉及三维结构测量。

5）新型纳米光学器件。

应用方向

1）超衍射空间分辨率的物性表征。

2）微纳结构三维形貌测量（周期性结构/非周期性结构）。

3）微纳薄膜结构测量和物性表征。

4）晶圆表面缺陷及污染的检测。