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  • 姓名： 熊伟
  • 性别： 男
  • 职称： 副研究员
  • 职务： 
  • 学历： 博士
  • 电话： 010-82995789
  • 传真： 
  • 电子邮件： xiongwei2@ime.ac.cn
  • 所属部门： 微电子仪器设备研发中心
  • 通讯地址： 北京市朝阳区北土城西路3号

    简　　历：

  • 教育背景：

    2004/09-2009/07，清华大学，微电子研究所，博士，导师：余志平 

    2000/09-2004/07，清华大学，电子工程系，学士   

    工作经历：

    2011/12-至今，中国科学院微电子研究所，微电子设备技术研究室，副研究员 

    2009/09-2011/11，浙江大学，电气工程学院，博士后，合作导师：严晓浪 

    社会任职：

    研究方向：

  • 光学无损检测 

    半导体工艺仿真 

    承担科研项目情况：

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    代表论著：

    专利申请：

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    获奖及荣誉：

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