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  • 姓名： 解婧
  • 性别： 女
  • 职称： 研究员
  • 职务： 
  • 学历： 博士
  • 电话： 010-82995789
  • 传真： 010-82995687
  • 电子邮件： xiejing@ime.ac.cn
  • 所属部门： 微电子仪器设备研发中心
  • 通讯地址： 北京市朝阳区北土城西路3号

    简　　历：

  • 教育背景 

    2002-2006 清华大学 电子工程系 工学学士 

    2006-2011中国科学院半导体研究所 微电子学与固体电子学 工学博士　　 

    工作简历 

    2011.10-2014.12，中国科学院微电子研究所，助理研究员

    2014.12-2023.11，中国科学院微电子研究所，副研究员，硕士生导师 

    2023.11-至今，中国科学院微电子研究所，研究员，硕士生导师

    2015.10-至今，中国科学院大学授课，现为岗位教授

    社会任职：

    研究方向：

  • 成套MEMS制造技术、微纳材料、结构、及相关设备研究 

     

    承担科研项目情况：

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    代表论著：

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    专利申请：

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    获奖及荣誉：

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