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  • 姓名： 杨进
  • 性别： 女
  • 职称： 高级工程师
  • 职务： 
  • 学历： 硕士
  • 电话： 010-82995689
  • 传真： 010-82995687
  • 电子邮件： yangjin@ime.ac.cn
  • 所属部门： 微电子仪器设备研发中心
  • 通讯地址： 北京市朝阳区北土城西路3号

    简　　历：

  • 教育背景

    1995.9-1999.7南京理工大学 自动控制专业 本科

    2003.9-2006.7中国地质大学（北京）通讯与信息技术 研究生

    工作简历

    2006.7-至今 中国科学院微电子研究所 从事射频电源、自动匹配器、匀胶机等设备的研发工作

    社会任职：

    研究方向：

  • 电子电路设计 设备研发

    承担科研项目情况：

  • 1、院功能开发项目，Y7SH018001，用于高精度纳米薄膜制备的高速高稳定旋涂设备功能升级，30万元，在研，主持

    2、所长基金项目，08SF168001，50万，自动匹配器研发滚动支持，已完成，主持

    3、所长基金项目，06SB063001，10万，自动匹配器研发，已完成，主持

    代表论著：

    专利申请：

  • 一种用于匹配器设备的空气电容结构 201310029910.8

    获奖及荣誉：

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