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  • 姓名： 齐月静
  • 性别： 女
  • 职称： 研究员
  • 职务： 副主任
  • 学历： 博士
  • 电话： 82995930
  • 传真： 
  • 电子邮件： qiyuejing@ime.ac.cn
  • 所属部门： 光刻技术总体部
  • 通讯地址： 北京市朝阳区北土城西路3号

    简　　历：

  • 教育背景：

    2002.09-2007.03  北京理工大学，精密仪器及机械专业，硕博连读研究生 

    2007.04-2009.06  北京理工大学，兵器发射理论与技术专业，博士后  

    工作简历： 

    2009.06-2014.11  中科院光电研究院，副研究员 

    2014.12-2018.10  中科院光电研究院，研究员，投影光学研究室副主任 

    2018.11-至今    中科院微电子研究所，研究员，光刻技术总体部副主任 

    社会任职：

  • 中国科学院大学岗位教授，博士生导师

    研究方向：

  • 光刻技术、精密仪器及光学、光电信息处理

    承担科研项目情况：

  • 作为课题负责人，承接国家科技重大专项、省部级项目等科研任务10余项。

    代表论著：

  • 发表期刊论文20余篇，会议论文10余篇。 

    [1]齐月静, 卢增雄, 杨光华.照明物镜数值孔径对微孔衍射波前质量影响分析[J].中国激光.2015.42(2）. 

    [2]马敬，齐月静，卢增雄. 光谱共焦位移传感器线性色散物镜设计[J]. 中国激光，2019，46(7):0704009.  

    [3]Yuejing Qi, Zengxiong Lu, Gongming Ding, Jiani Su. A new illumination source for Shack-Hartmann wavefront sensor，Proc. of SPIE. 2014.9282. 

    [4]Meng Qingbin,Qi Yuejing, Lu Zengxiong,Su Jiani.  Effect of ambient temperature on the measurement accuracy of Shack-Hartmann wavefront sensor, Proc. of SPIE, 2015,9621. 

    [5] Yuejing Qi, Zengxiong Lu*, Jing Ma, Guanghua Yang, Qingyang Zhang, Bing Li, Wei Qi, Jiani Su. Research on micro displacement measurement technology based on chromatic confocal method[C]. Proc. SPIE, 2019, 108401G.

    专利申请：

  • 申请发明专利40余项, 申请实用新型共计30项，代表性专利有： 

    [1] 一种基于夏克-哈特曼波前传感器的光学系统波像差测量装置与方法，发明,专利号:ZL201710247966.9 

    [2] 一种光谱共焦测量系统在线标定装置与方法，发明，专利号:ZL 201710242017.1 

    [3]一种深紫外光学系统共焦对准装置与方法, 发明, 专利号: ZL201611169770.4 

    [4]一种深紫外光学系统波像差检测装置和方法，发明,专利号: ZL 201611169812.4  

    [5] 基于双光束干涉的投影物镜波像差在线检测装置和方法, 发明, 专利号: ZL201310041059.0

    获奖及荣誉：

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