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  • 姓名： 丁敏侠
  • 性别： 女
  • 职称： 副研究员
  • 职务： 
  • 学历： 博士
  • 电话： 82995872
  • 传真： 
  • 电子邮件： dingminxia@ime.ac.cn
  • 所属部门： 光刻技术总体部
  • 通讯地址： 北京市朝阳区北土城西路3号

    简　　历：

  • 教育背景：

     

    2001.09--2005.07  东南大学，动力工程系热能与动力工程专业，本科 

    2009.09--2010.09  法国巴黎第十一大学，机械物理系，硕士研究生一年级 

    2010.09--2011.10  法国雷恩第一大学，科学计算和建模专业，硕士研究生二年级  

    2011.10--2015.05  法国雷恩第一大学化学研究所，化学专业博士研究生 

    工作背景： 

    2005.07--2008.05  河北省电力勘测设计研究院，助理工程师 

    2017.05--2018.12  北京辰安科技股份有限公司，工程师 

    2019.01--至今   中科院微电子研究所，副研究员 

    社会任职：

    研究方向：

  • 建模与数据处理，光刻技术，分子物理，纳米材料

    承担科研项目情况：

  • 作为研究骨干参与多个重大专项的科研任务。

    代表论著：

  • 发表期刊和会议论文10余篇，代表作如下： 

    [1] Jing LI, Minxia DING, Qingyang ZHANG, Shidong ZHU. Investigation of the relationship between wafer deformation and alignment error. Poster. 2019. 

    [2] M. Ding, A. Szymczyk, A. Ghoufi. Hydration of a polyamide reverse-osmosis membrane. Journal of Membrane Science. Volume 501, 2016, Pages 248-253. 

    [3] M. Ding, A. Szymczyk, A. Ghoufi. On the structure and rejection of ions by a polyamide membrane in pressure-driven molecular dynamics simulations. Desalination. Volume 368, 2015, Pages 76-80. 

    [4] M. Ding, A. Ghoufi, A. Szymczyk. Molecular simulations of polyamide reverse osmosis membranes. Desalination. Volume 343, 16 June 2014, Pages 48-53. 

    [5] M. Ding, A. Szymczyk, F. Goujon, A. Soldera, A. Ghoufi. Structure and dynamics of water confined in a polyamide reverse-osmosis membrane: A molecular-simulation study. Journal of Membrane Science.   Volume 458, 15 May 2014, Pages 236-244.

    专利申请：

  • 代表性专利： 

    [1]调整吸盘吸力分布改善硅片翘曲的方法，发明，专利号：CN201910908045.1 

    [2]一种同步控制方法以及系统，发明，专利号：CN201911212668.1 

    [3]基于OpenVPX架构的测控系统同步控制系统，发明，专利号：CN201911211916.0 

    [4]硅片对准标记布局的优化方法，发明，专利号：CN201911178873.0 

    [5]对焦传感器的校准方法，发明，专利号：CN201911212027.6

    获奖及荣誉：

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