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  • 姓名： 苏佳妮
  • 性别： 女
  • 职称： 高级工程师
  • 职务： 
  • 学历： 硕士
  • 电话： 82995874
  • 传真： 
  • 电子邮件： sujiani@ime.ac.cn
  • 所属部门： 光刻技术总体部
  • 通讯地址： 北京市朝阳区北土城西路3号

    简　　历：

  • 教育背景

    2003.09-2007.6  长春理工大学，电子科学与技术专业，本科 

    2007.9-2010.4   长春理工大学，光学工程专业，硕士 

    工作简历 

    2010.4-2018.7 中国科学院光电研究院，工程师 

    2018.7-2018.11 中国科学院光电研究院，高级工程师 

    2018.11-至今 中国科学院微电子研究所，高级工程师 

    社会任职：

    研究方向：

  • 光刻技术、光学工程

    承担科研项目情况：

  • 作为课题负责人，承担国家科技重大专项、中科院项目、企业横向等科研任务6项。

    代表论著：

  • [1] Jiani Su, Zengxiong Lu, Yuejing Qi. Confocal position alignment in high-precision wavefront error metrology using Shack-Hartmann wavefront sensor, Proc. SPIE, 2016, 97801N. 

    [2] Jiani Su, Yuejing Qi, Yu Wang. Design of digital light processing mini-projection lens, Proc. SPIE, 2019, 108381F.

    专利申请：

  • 申请发明专利19项, 申请实用新型18项，代表性专利有： 

    [1]一种光刻投影物镜系统波像差测量装置与方法，发明，专利号ZL201410185411.2 

    [2]一种光学系统波像差测量装置与测量方法，发明，专利号ZL201410373440.1 

    [3]一种内窥镜用摄像适配器光学系统，发明，专利号ZL201410184450.0 

    [4]一种高分辨率低畸变微型投影镜头，发明，专利号201810144424.3 

    [5]投影物镜的数值孔径的在线检测装置及方法，发明，专利号201810416484.6

    获奖及荣誉：

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