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  • 姓名： 王丹
  • 性别： 女
  • 职称： 高级工程师
  • 职务： 
  • 学历： 硕士
  • 电话： 82995926
  • 传真： 
  • 电子邮件： wangdan@ime.ac.cn
  • 所属部门： 光刻技术总体部
  • 通讯地址： 北京市朝阳区北土城西路3号

    简　　历：

  • 教育背景

    2004.09--2008.07  北京理工大学，电子科学与技术专业，本科 

    2008.07--2010.07  北京理工大学，光学工程专业，研究生 

    工作简历 

    2010.07--2011.06  中科院成都光电所，光学检测，光学工程师 

    2011.07--2015.09  中科院微电子所，设备中心，精密测控系统设计，光学工程师 

    2015.09--2019.01  深圳中科飞测有限公司(北京分公司)，三维形貌检测，光学工程师 

    2019.02—至今 中科院微电子所，光刻技术总体部，光学设计，高级工程师 

    社会任职：

    研究方向：

  • 光刻技术、精密仪器及光学

    承担科研项目情况：

  • 参与多项国家科技重大专项课题和子课题，负责其中的光学系统研制。

    代表论著：

  • [1]王丹，刘克，李艳秋，汪海.含中心遮拦剪切干涉图的波前重建新方法[J].光学技术.2010.9 36(5)

    专利申请：

  • 申请发明专利 

    [1]一种光学精密系统的对准装置, 发明, 专利号: 201410185976.0 

    [2]一种调焦调平传感器测量装置, 发明, 专利号: 201410374962.3  

    [3]一种垂向调整装置, 发明, 专利号: 201410374962.3  

    [4]反射式光学系统及其装调测试方案,发明,专利号: 201911212108.6 

    [5]用于EUV真空环境中的光电转换电子学装置及光刻机，发明,  

    专利号: 201911212670.9

    获奖及荣誉：

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