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  • 姓名： 徐天伟
  • 性别： 男
  • 职称： 高级工程师
  • 职务： 
  • 学历： 硕士
  • 电话： 
  • 传真： 
  • 电子邮件： xutianwei@ime.ac.cn
  • 所属部门： 光刻技术总体部
  • 通讯地址： 北京市朝阳区北土城西路3号

    简　　历：

  • 教育背景

    1997.09-2001.06 长春理工大学，光学技术与光电仪器，本科 

    2004.09-2006.06 长春理工大学，光学工程，硕士研究生 

    工作背景

    2001.07-2002.10 新福克斯（深圳）光电通讯有限公司，工程师 

    2006.07-2012.05 北京中科科仪股份有限公司，工程师 

    2012.05-2017.03 中科院微电子研究所，工程师 

    2019.01-至今   中科院微电子研究所，高级工程师 

    社会任职：

    研究方向：

  • 光刻技术、精密测控技术、EUV超清洁真空

    承担科研项目情况：

  • 作为技术骨干，承接国家科技重大专项、国家重大科技基础设施项目多项。

    代表论著：

  • [1]定容法正压漏孔校准装置.真空科学与技术学报. 2014.34(6) 

    专利申请：

  • 代表性专利： 

    [1]一种气体分析装置及方法，发明，专利号: 201310430575.2 

    [2]一种集光系统防污染保护装置，发明，专利号: 201210505346.8  

    [3]一种用于EUV真空环境中的电子学装置，发明，专利号: 201310172932.X 

    [4]一种光谱椭偏测量装置及方法，发明，专利号: 201310436198.3 

    [5]一种分子泵轴承组件，发明，专利号:200910089537.9 

    [6]分子泵供油锥及供油系统，发明，专利号:201020608645.0 

    [7] 用于EUV真空环境中的光电转换电子学装置及光刻机，发明，专利号:201911212670.9 

    [8] 用于EUV真空环境中的光传输装置及光刻机，发明，专利号:201911212715.2s 

    [9]反射式光学系统及其装调测试方法，发明，专利号:201911212108.6

    获奖及荣誉：

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