2011.04 –至今：中国科学院微电子研究所副总工、研究员、博士生导师，国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”总体组特聘专家。 

2009.05 – 2011.03：荷兰皇家飞利浦照明研发中心(中国)总监。  

2000.01 – 2009.05：荷兰ASML光刻机公司研发经理、高级工程师。  

1999.02 – 1999.12：荷兰国家原子分子研究所 （AMOLF）研究员。  

1998.02 – 1999.01：荷兰代尔夫特（Delft）技术大学研究员。  

1990.01 – 1998.01：北京交通大学教授，系主任等。