2002.09--2006.07 山东大学 信息学院 学士
2006.09--2009.06 厦门大学 信息学院 硕士
2012.07--2015.11 中科院光电研究院助理研究员
2015.12--2018.10 中科院光电研究院副研究员
2018.11-- 中科院微电子研究所副研究员
2023.11-- 中科院微电子研究所研究员
在研项目:
1. 科技部重点研发计划,宽谱可调红外光源与高效光生声波核心部件研制,技术负责人,2018-2021
2. 应用光学国家重点实验室开放基金,深紫外全固态激光系统设计与分析,负责人,2019-2021
3. 中国科学院重点部署项目,高灵敏度微纳集成光学陀螺,2019-2022
4. 国家科技重大专项(02专项),深紫外准连续激光光源研发,2018-2020
5. 国家科技重大专项(02专项),40W 4kHz ArF曝光光源产品开发,2013-2020
结题项目:
1. 国家自然科学基金(青年),基于光谱控制的相干长度连续调谐激光技术研究,负责人,2015-2017
2. 中国科学院光电研究院创新项目,ArF准分子激光复合腔理论及实验研究,负责人,2016-2017
3. 中科院人才项目,走进中科院 海外人才行,负责人,2018-2019
4. 北京市科技专项,高稳定相干长度连续可调激光器系统,技术负责人,2014-2015
5. 应用光学国家重点实验室开放基金,193nm波段光学镜片透过率的精密测量,技术负责人,2012-2017
6. 国家科技重大专项(02专项),20W 4kHz ArF曝光光源光源研发,2009-20131. Thermal effects in kilowatt all-fiber MOPA[J], Opt. Express 19, 15162-15172, 2011
2. Efficient heat transfer in high-power fiber lasers[J], Chin. Opt. Lett. 10, 111401, 2012
3. Narrow-linewidth ArF excimer laser with high efficiency[C], CLEO, USA, San Jose, 2017 (Postdeadline paper)
4. Research status and analysis of fifth-harmonic-generation for ~1μm laser[C], Proc. SPIE, 1106318, 2019
5. Coherence length tunable solid-state lasers based on Fabry-Perot etalon[C], Proc. SPIE, 10153, 2016
6. 高效率ArF 准分子激光复合腔技术研究[J], 中国激光, 43(2) , 2016
7. Efficient self-seeding in a long cavity-length discharge-excited excimer laser system[C], Proc. SPIE, 104570G, 2017
8. 相干长度连续可调的高稳定性固体激光器[J], 中国激光, 41(09): 0902012, 2014
9. 高能窄带激光系统中光谱纯度检测的实验研究[J], 激光与光电子学进展,52, 073002, 2015
10.High Power Passive Phase Locking of Four Yb-Doped Fiber Amplifiers by an All-Optical Feedback Loop[J], Chin. Opt. Lett., 28(5), 2011
11.双包层光纤光栅的制备及其高功率光纤激光实验研究[J], 中国激光,37(9) , 2010
12.宽带可调谐掺镱双包层光纤激光器[J], 中国激光, 36(1) , 2009授权国内专利20余项,授权国际专利5项,代表如下:
1. 具有环形泵浦结构的固体激光器, 2013-4-12, 中国, ZL201310127541.6.
2. 一种测量ArF准分子激光器腔内温度的光纤光栅传感器, 2012-12-4, 中国, ZL201210513131.0.
3. 精确测量高能紫外激光系统中光学镜片透过率的装置和方法, 2015-6-17, 中国, ZL201510338481.1.
4. 精确测量高功率激光环境中光学镜片透过率的装置和方法, 2015-8-13, 中国, ZL201510497130 .5.
5. 准分子激光器复合腔(国际专利,美国、韩国、俄罗斯授权), 2015-6-15, 美国, US 9325143 B2,KR 1804551 B1,RE2607815 C1.
6. 一种具有环形腔结构的准分子激光系统(国际专利,美国、欧洲授权),2018-7-26,美国,U20180212397A1,EU 15898635.6.
7. 自种子注入双腔结构准分子激光器系统, 2016-8-24,中国,ZL201310712625.6.
8. 一种同时监测激光光谱及光谱能量分布的方法和装置,2017-12-19,中国,ZL201410591968.6.
9. 一种准分子激光器,2018-6-1,中国,ZL201510334996 .4.
10.一种光学元件透过率的测量方法及装置,2016-6-27,中国,ZL201210524943.5.
11. 兼顾棒状光源聚焦功率及谱密度均衡的装置及光声光谱仪,2019-10-18,中国,201911003586.6.中国科学院青年创新促进会会员,2020.1
第十九届“中国专利优秀奖”,2017.12
中国科学院北京分院科技成果转化奖“特等奖”,2017.2
中国科学院光电研究院“优秀员工”,2017.12
美国光学学会(OSA)CLEO国际会议Postdeadline Paper,2017.5
《中国激光》杂志社“优秀论文”,2016.2
《激光与光电子学进展》编辑部“2011中国光学重要成果”,2012.3
人才队伍