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  • 姓名： 韩晓泉
  • 性别： 男
  • 职称： 正高级工程师
  • 职务： 
  • 学历： 博士
  • 电话： 010-82178623
  • 传真： 
  • 电子邮件： hanxiaoquan@ime.ac.cn
  • 所属部门： 光电研发中心
  • 通讯地址： 北京市朝阳区北土城西路3号

    简　　历：

  • 教育背景： 

    2000.9－2005.3　中国科学院长春光机所　机械制造及其自动化专业，　工学博士 

    1996.9－2000.7  四川大学　　　　　　　工业自动化专业　　　　　　工学学士 

    工作简历： 

    2005.04－2018.10， 中科院光电研究院　助研，副研 

    2018.11－至今， 中科院微电子所　  副研，正高工 

    社会任职：

  • 国家知识产权局学术委员会，中国专利审查技术专家 

    财政部政府采购评审专家

    研究方向：

  • 光电测量、精密控制，信号处理

    承担科研项目情况：

  • 1. 248nm KrF光刻机曝光光源开发，负责人 

    2. 国家重大专项 40W 4KHz ArF曝光光源产品开发，参与 

    3. 国家重大专项 浸没式曝光光源研制与小批量产品生产能力建设，参与 

    4．中科院STS项目 248nm曝光光源产业化，负责人 

    5．北京市科委项目 SiC基紫外探测器研制，子课题负责人 

    代表论著：

  • 1. Image Acquisition and Motion positioning system Design Based on the Projection Lens Wavefront Aberration Measurement，2017，SPIE　Advanced Lithography 

    2. A design of energy detector for ArF excimer lasers，2017，SPIE, 

    3. 准分子激光器温度控制系统设计，量子电子学报，2015.

    专利申请：

  • 1. 基于Smith预估补偿的准分子激光器温度控制方法及系统 

    2. 一种激光器中心波长测量的温漂反馈方法 

    3. 一种准分子激光器能量探测器的能量值标定系统及方法 

    4. 一种准分子激光脉冲能量稳定性控制方法 

    5．基于原子吸收的FP波长计温漂校准装置和方法

    获奖及荣誉：

  • 2009北京市科学技术奖一等奖/排名10 

    2010上海世博会科技攻关成果特别奖/排名第3 

    2017中科院北京分院成果转化特等奖/排名第9
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