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  • 姓名： 丁金滨
  • 性别： 男
  • 职称： 高级工程师
  • 职务： 
  • 学历： 硕士
  • 电话： 010-82178623
  • 传真： 
  • 电子邮件： dingjinbin@ime.ac.cn
  • 所属部门： 光电研发中心
  • 通讯地址： 北京市朝阳区北土城西路3号

    简　　历：

  • 教育背景

    2006年04月毕业于北京航空航天大学航空宇航推进理论与工程专业，硕士研究生学历 

    工作简历 

    2002.07-2003.06  中国兵器工业第五设计研究院  助理工程师 

    2006.04-2018.10  中国科学院光电研究院光电工程部  助理工程师-工程师-高级工程师 

    2018.11-今      中国科学院微电子研究所光电研发中心  高级工程师 

    社会任职：

    研究方向：

  • 精密仪器与机械、准分子激光技术、光电测量技术

    承担科研项目情况：

  • 1. 248nm KrF光刻机曝光光源开发 

    2. 40W 4KHz ArF曝光光源产品开发 

    3. 浸没式曝光光源研制与小批量产品生产能力建设

    代表论著：

  • 1. 高重频准分子激光器中放电冲击波特性的实验研究, 中国激光, 2019 

    2. ANSYS Workbench 18.0有限元分析案例详解, 清华大学出版社, 2019 

    3. Corrosion Behaviors of the Copper Alloy Electrodes in ArF Excimer Laser Operation Process, High Power Laser Science and Engineering, 2017

    专利申请：

  • 获授权国际专利2项，申请国内发明专利三十余项，其中获得授权21项，部分如下： 

    1. 激光器放电腔的六自由度调节机构, CN103269009B  

    2. 一种准分子激光器用贯流风机叶轮, CN102777416B  

    3. 基于改进的贯流风机叶轮的单腔双电极放电腔, CN103151679B 

    4. 一种准分子激光器高纯工作气体配送系统及方法, CN105846290B 

    5. 双电极放电腔的导流装置及应用其的放电腔、准分子激光器, CN102969645B

    获奖及荣誉：

  • 1、第十七届中国专利奖优秀奖，中华人民共和国知识产权局，2015年12月 

    2、第四届北京市发明专利奖三等奖，北京市人民政府，2017年02月 

    3、科技成果转化特等奖，中国科学院北京分院，2015年12月
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