教育背景：
2012年6月毕业于中国科学院合肥物质科学研究院 光学博士
2007年毕业于河北大学 物理学学士
2012年7月-2015年4月，2018年5月-至今 中国科学院微电子研究所
2015年5月-2018年4月 中国科学院力学研究所1.全国光电标准委员会委员；
半导体光学检测技术、光谱检测技术
2020年10月-2023年9月，承担国家重点研发计划课题“光学元件亚表面缺陷原位显微测量识别算法研究及软件开发”；
2022年11月-2025年10月，承担装发预研项目“晶圆缺陷检测技术”;
2021年8月-2023年7月，承担横向项目“45nm非图形晶圆缺陷检测光学系统研发”
1.Potential use of laser-induced breakdown spectroscopy combined laser cleaning for inspection of particle defect components on silicon Wafer”. J. of Micro/Nanolithography. MeMS,andMOEMS,18(3),034002, 2019.SCI；
2.Detection of Particle Defect Components on Silicon Wafer with Laser Induced Breakdown Spectroscopy Combined Laser Cleaning. 2019SPIE；
3.硅片表面纳米颗粒剥离及其成分检测方法研究, 物理学报Vol. 69, No. 16 (2020)；
4.基于TSOM的光学元件亚表面缺陷检测方法研究，光学学报；
1.有图形晶圆及掩模版的缺陷检测方法及装置，201811259816.0；
2.基于非相干光源和波带片成像的掩模缺陷检测方法及系统，201911374143.8
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