光学精密测量、微纳检测、飞秒激光技术

1. 国家重点研发计划项目，超分辨扫描显微检测仪，课题负责人，2024.1-2026.12

2. 国家重点研发计划项目，空间微孔三维形貌非接触扫描测量仪，子课题负责人，2024.1-2026.12

3. 中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室课题，硅通孔三维轮廓光学测量方法研究，项目负责人，2021.6-2022.5

4. 清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室开放基金，基于机器学习的飞秒激光过焦扫描显微成像方法研

究，项目负责人，2021.1-2022.12

5. 国家自然科学基金青年基金，基于光梳技术的真空度和气体分压测量方法研究，项目负责人，2020.1-

2022.12

6.国家重点研发计划项目，硅基 MEMS 高深宽比结构多模式光学测量技术，技术骨干，2020.1-2022.12

1. 过焦扫描光学显微测量技术综述，石俊凯，李冠楠，霍树春，姜行健，陈晓梅，周维虎，计测技术，2023，

43(1)：18-29

2.  MEMS High Aspect Ratio Trench Three-Dimensional Measurement Using Through -Focus Scanning 

Optical Microscopy and Deep Learning Method, Guannan Li, Junkai Shi*, Chao Gao, Xingjian Jiang, 

Shuchun Huo, Chengjun Cui, Xiaomei Chen, Weihu Zhou, Applied Sciences, 2022, 12: 8396

3. 基于机器学习的过焦扫描显微测量方法研究，中国光学, 2022，15(4)：703-711

4. Suppression of multi-pulse formation in all-polarization- maintaining figure-9 erbium- doped fiber mode-

locked laser, Junkai Shi, Dengfeng Dong, Yingling Pan, Guannan Li, Yao Li, Lituo Liu, Xiaomei Chen, Weihu 

Zhou, Chinese Physics B, 2021, 30(1): 014206-5

5.  结构紧凑的双波长连续波掺铒光纤激光器，石俊凯，王国名，纪荣祎，周维虎，中国光学，2019，12(4)：

810-819

6. 滤波对8字腔掺铒光纤激光器锁模运转的影响，石俊凯，王国名，黎尧， 高书苑，刘立拓，周维虎，物理学

报，2019，68(6)：064206

7. All-polarization-maintaining figure-eight Er-fiber ultrafast laser with a bidirectional output coupler in the 

loss-imbalanced nonlinear optical loop mirror, Junkai Shi, Yao Li, Shuyuan Gao, Yingling Pan, Guoming 

Wang, Rongyi Ji, Weihu Zhou, Chinese Optics Letters, 2018, 16(12): 121404

8. Self-starting simple structured dual-wavelength modelocked erbium-doped fiber laser using a 

transmission-type semiconductor saturable absorber, Junkai Shi, Weihu Zhou, Chinese Optics Letters, 2018, 

16(3): 031404

9. 基于增益光纤长度优化的双波长运转掺铒光纤锁模激光器，石俊凯，纪荣祎，黎尧，刘娅，周维虎，物理学

报，2017，66(13)：134203

10.双向运转混合锁模掺铒光纤激光器，黎尧，纪荣祎，石俊凯^∗，张滋黎，董登峰，劳达宝，周维虎，中国激光，2016，43(12)：1201002

1.  基于光频梳的真空测量方法，中国科学院微电子研究所，ZL201910705030.5，石俊凯，周维虎，黎尧，陈

晓梅，刘立拓，吴晓斌，王魁波，王宇

2. 基于光频梳的微纳器件表面轮廓线上测量装置及方法，中国科学院微电子研究所，ZL202011005011.0，石

俊凯，李冠楠，陈晓梅，黎尧，刘立拓，高超，董登峰，周维虎

3.基于脉冲激光的过焦扫描光学显微成像装置及方法，中国科学院微电子研究所，ZL202011542609.3，石俊凯，李冠楠，姜行健，陈晓梅，高超，刘立拓，董登峰，周维虎

1.获2020年中国机械工业科学技术发明特等奖，单位排名第一，个人排名第十五

2.获2020年中国计量测试学会技术进步一等奖，单位排名第二，个人排名第七