教育背景
2000年9月至2004年7月 西安电子科技大学 电子科学与技术 本科
工作简历
2004年7月至2010年3月 华润上华科技股份有限公司 课长
2010年4月至2012年10月 中国科学院微电子研究所 工程师
2012年10月至2022年9月 中国科学院微电子研究所 高级工程师
2022年9月至今 中国科学院微电子研究所 正高级工程师
主要从事集成电路先导工艺和硅光子集成工艺研究
主持国家重点研发计划“硅基多层三维集成芯片及”课题(2020-2022),课题经费765万元。
1. Bo Tang(一作),Monolithic back-end-of-line integration of phase change materials into foundrymanufactured silicon photonics.Nature Communications,2024年,4期(15卷),页码2786.
2. Bo Tang(通讯),Multilayer Reconfigurable 3D Photonics Integrated Circuits Based on Deposition Method,Laser & Photonics Review,2024年,页码2400827.
3. Bo Tang(一作),Polysilicon modulator utilizing CMOS-compatible local excimer laser annealing technology,Journal of Lightwave Technology,2024年,页码1-6.
4. Bo Tang(通讯),TDFA-Band Silicon Optical Variable Attenuator,Progress In Electromagnetics Research,2022年,174卷,页码33-42.
5. Bo Tang(二作),Microring resonator based on polarization multiplexing for simultaneous sensing of refractive index and temperature on silicon platform,Optics Express,2022年,14期(30卷),页码25637
6. Bo Tang(二作),Thermo-optically tunable slot waveguide-based dual mode-splitting resonators with enhanced sharp lineshapes,Optics Express,10期(30卷),页码16374-16383
1. 唐波,第一发明人,利用侧墙转移制作硅基光子器件的方法及硅基光子器件,申请号:CN202011167383.3,申请日:2020/10/27,授权公告日:2022/10/4。
2. 唐波,第一发明人,双层硅基光子器件的制作方法及双层硅基光子器件,申请号:CN202011167356.6,申请日:2020/10/27,授权公告日:2023/2/3。
3. 唐波,第一发明人,利用图形反转制作光子晶体的方法及光子晶体,申请号:CN202011165698.4,申请日:2020/10/27,授权公告日:2022/11/4。
4. 唐波,第一发明人,一种多层硅光子器件的制备方法,申请号:CN202011065943.4,申请日:2020/9/30,授权公告日:2022/10/4。
5. 唐波,第一发明人,硅基光电探测器及其制造方法,申请号:CN202010065061.1,申请日:2020/1/20,授权公告日:2023/3/21。
6. 唐波,第一发明人,锗探测器及其制造方法,申请号:CN202010063210.0,申请日:2020/1/20,授权公告日:2023/3/21。
7. 唐波,第一发明人,半导体器件的制造方法,申请号:CN201410339799.7,申请日:2014/7/16,授权公告日:2019/5/28。
8. 唐波,第一发明人,半导体器件及其制造方法,申请号:CN201410339866.5,申请日:2014/7/16,授权公告日:2018/7/13。
9. 唐波,第一发明人,混合线条的制造方法,申请号:CN201110263770.1,申请日:2011/9/7,授权公告日:2015/9/23。
入选中国科学院关键技术人才
2014年获得中国科学院杰出科技成就奖(集体)
人才队伍