| 专利名称: | T型栅制作的方法 |
| 专利类别: | |
| 申请号: | 02122636.9 |
| 申请日期: | 2002-06-19 |
| 专利号: | CN1464527 |
| 第一发明人: | 张海英 刘训春 石华芬 |
| 其它发明人: | |
| 国外申请日期: | |
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| 实施情况: | |
| 专利证书号: | |
| 专利摘要: | 本发明一种T型栅制作的方法，包括如下步骤：(1)取待制作T型栅的基片，对该基片进行清洗，并用氮气吹干，烘干；(2)在基片上涂三层PMMA/PMGI/PMMA胶，烘干；(3)将涂胶后的基片送电子束曝光、显影、定影；(4)进行挖栅槽、栅金属蒸发、剥离工艺，完成器件或电路制作。 |
| 其它备注: | |
科研产出