专利名称: | 砷化镓基复合收集区弹道传输异质结双极晶体管 |
专利类别: | |
申请号: | 02124452.9 |
申请日期: | 2002-06-26 |
专利号: | CN1464564 |
第一发明人: | 石瑞英 刘训春 |
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专利证书号: | |
专利摘要: | 一种砷化镓基复合收集区弹道传输异质结双极晶体管,具有多重收集区结构,器件结构包括:一半绝缘砷化镓衬底;一N+掺杂的砷化镓子收集区,该N+掺杂的砷化镓子收集区生长在半绝缘砷化镓衬底上;一复合收集区,该复合收集区生长在N+掺杂的砷化镓子收集区上;一很重掺杂的P型砷化镓基区,该很重掺杂的P型砷化镓基区生长在复合收集区上;在基区上形成有一N型铟镓磷发射区,最上面是为制作欧姆接触用的帽层,在帽层上形成发射极,在基区上、N型铟镓磷发射区的两侧形成有基极。 |
其它备注: | |
科研产出