| 专利名称: | X射线掩模与石英环紫外固化装置及使用方法 |
| 专利类别: | |
| 申请号: | 03147402.0 |
| 申请日期: | 2003-07-07 |
| 专利号: | CN1567088 |
| 第一发明人: | 谢常青 叶甜春 陈大鹏 李兵 |
| 其它发明人: | |
| 国外申请日期: | |
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| 专利证书号: | |
| 专利摘要: | 一种X射线掩模与石英环紫外固化装置包括：一X射线掩模工作台，该工作台包括安装在其上的X方向位移手轮、Y方向位移手轮和绕Z轴旋转手轮；一真空夹具位于X射线掩模工作台的下方，该真空夹具通过管道来真空吸附X射线掩模，X射线掩模工作台主要用来放置待紫外固化的X射线掩模；一石英环工作台，该石英环工作台位于X射线掩模工作台的下方，以防止X射线掩模的形变；一紫外光源位于石英环工作台的下方；一平行透镜位于石英环工作台和紫外光源之间；一用于观测对准状况的显微镜位于X射线掩模工作台的上方；所说的X射线掩模工作台、石英环工作台、紫外光源、平行透镜和显微镜均安装在一框架上。 |
| 其它备注: | |
科研产出