| 专利名称: | 一种真空或充气的操作装置 |
| 专利类别: | |
| 申请号: | 91226342.3 |
| 申请日期: | 1991-10-14 |
| 专利号: | CN2108995 |
| 第一发明人: | 李秀琼 |
| 其它发明人: | |
| 国外申请日期: | |
| 国外申请方式: | |
| 专利授权日期: | |
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| 实施情况: | |
| 专利证书号: | |
| 专利摘要: | 本实用新型公开了一种在洁净工艺中使用的真空或充气操作装置。它包含既可以分隔、又可以连通的内外两个腔体。分隔时可在内腔体中进行物件的工艺处理。连通时则可在外腔体中进行待处理与已处理物件的装卸。外腔体中装有载物台与机械手，可供贮存与装卸物件。这样的装置可以在多次处理对象中连续保持腔体的真空或纯净，提高了工作效率，并保证了工艺的洁净。 |
| 其它备注: | |
科研产出