| 专利名称: | 一种夹板式X光光刻对准装置 |
| 专利类别: | |
| 申请号: | 95201234.0 |
| 申请日期: | 1995-01-23 |
| 专利号: | CN2268944 |
| 第一发明人: | 高士平 王保强 程秀玲 |
| 其它发明人: | |
| 国外申请日期: | |
| 国外申请方式: | |
| 专利授权日期: | |
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| 实施情况: | |
| 专利证书号: | |
| 专利摘要: | 一种夹板式Ｘ光光刻对准装置，涉及到由装配有Ｘ光光刻掩模的上基板，放置固定被加工基片的下基板，以及连结环三个主要部分组成的装置；利用该装置在常规光刻机上将掩模图形与基片图形对准并控制它们之间距离，通过把装置固定成一体来固定图形相对位置，再把装置送到Ｘ光光刻束线中曝光，实现器件制作中的图形对准Ｘ光光刻。 |
| 其它备注: | |
科研产出