| 专利名称: | 硅片抛光机头吸盘 |
| 专利类别: | |
| 申请号: | 01218504.3 |
| 申请日期: | 2001-03-29 |
| 专利号: | CN2470953 |
| 第一发明人: | 夏洋 张国海 欧文 申作成 钱鹤 |
| 其它发明人: | |
| 国外申请日期: | |
| 国外申请方式: | |
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| 实施情况: | |
| 专利证书号: | |
| 专利摘要: | 一种硅片抛光机头吸盘，有一机臂呈圆盘状，中心凸伸有一凸柱，一真空入口穿过机臂的中心；一真空腔体中心开有一圆孔，内部有一圆盘状的腔室与圆孔连通，真空腔体与圆孔相反的一面开有多数的微孔；一弹性膜为一圆片体，中心开有一通孔，弹性膜置于机臂与真空腔体之间；一橡胶层一圆片体，贴覆于真空腔体的一面，在其上开有多数的与真空腔体上开有的微孔对应的微孔；一圆环片固定在橡胶层的另一面。 |
| 其它备注: | |
科研产出