专利名称: | 一种结合压印技术制备各向异性有机场效应管的方法 |
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申请号: | 200610012052.6 |
申请日期: | 2006-05-31 |
专利号: | CN101083302 |
第一发明人: | 商立伟 涂德钰 王丛舜 刘 明 |
其它发明人: | |
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专利摘要: | 本发明属于有机半导体学中的微细加工领域,特别涉及一种结合压 印技术制备各向异性有机场效应管的方法。其步骤如下:1.在导电基底 上制备绝缘介质层;2.在绝缘介质层薄膜表面上沉积生长第一层有机半 导体薄膜;3.利用模板压印有机薄膜,把设计的模板图形转移到第一层 有机薄膜上;4.沉积生长第二层同质有机物薄膜;5.通过镂空的掩模 版沉积源漏金属电极,完成各向异性有机场效应管的制备。 |
其它备注: | |
科研产出