专利名称: 一种结合压印技术制备各向异性有机场效应管的方法
专利类别:
申请号: 200610012052.6
申请日期: 2006-05-31
专利号: CN101083302
第一发明人: 商立伟 涂德钰 王丛舜 刘 明
其它发明人:
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实施情况:
专利证书号:
专利摘要: 本发明属于有机半导体学中的微细加工领域,特别涉及一种结合压
印技术制备各向异性有机场效应管的方法。其步骤如下:1.在导电基底
上制备绝缘介质层;2.在绝缘介质层薄膜表面上沉积生长第一层有机半
导体薄膜;3.利用模板压印有机薄膜,把设计的模板图形转移到第一层
有机薄膜上;4.沉积生长第二层同质有机物薄膜;5.通过镂空的掩模
版沉积源漏金属电极,完成各向异性有机场效应管的制备。
其它备注: