专利名称: | 一种通过热压来制备各向异性有机场效应管的方法 |
专利类别: | |
申请号: | 200610083332.6 |
申请日期: | 2006-06-02 |
专利号: | CN101083304 |
第一发明人: | 商立伟 王丛舜 刘 明 |
其它发明人: | |
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专利证书号: | |
专利摘要: | 本发明属于有机半导体学中的微细加工领域,特别是一种通过热压 来制备各向异性有机场效应管的方法。其步骤如下:1.在导电基底上制 备绝缘介质层;2.在绝缘介质层薄膜表面上蒸发沉积第一层有机半导体 薄膜;3.利用光滑的辊筒对有机薄膜在高温下滚动加压;4.蒸发沉积 第二层同质有机物薄膜;5.通过镂空的掩模版沉积生长源漏金属电极, 完成各向异性有机场效应管的制备。 |
其它备注: | |
科研产出