| 专利名称: | 一种非制冷红外成像焦平面阵列探测器 |
| 专利类别: | |
| 申请号: | 200710062982.7 |
| 申请日期: | 2007-01-24 |
| 专利号: | CN101229910 |
| 第一发明人: | 焦斌斌 李超波 陈大鹏 叶甜春 |
| 其它发明人: | |
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| 专利摘要: | 本发明涉及红外成像技术领域，公开了一种非制冷红外成像焦平面阵 列探测器，该探测器由微悬臂梁单元采用顺序平铺的方式构成，所述微悬 臂梁单元包括热变形结构、红外吸收结构和支撑梁；所述热变形结构有两 组，分别位于红外吸收结构的两侧，每组热变形结构一端连接于支撑梁， 另一端连接于红外吸收结构；所述红外吸收结构包括光学检测板和红外透 过板，且二者通过锚爪固定连接；所述热变形结构连接于红外吸收结构的 光学检测板，与红外吸收结构的光学检测板分布于同一平面上。利用本发 明，解决了图形区硅衬底对红外线反射的问题，提高了探测灵敏度和对入 射红外线的吸收率。 |
| 其它备注: | |
科研产出