| 专利名称: | 一种制作百纳米级螺线管或网状结构的方法 |
| 专利类别: | |
| 申请号: | 200710064864.X |
| 申请日期: | 2007-03-28 |
| 专利号: | CN101276149 |
| 第一发明人: | 李金儒 赵 珉 王 琴 刘 明 陈宝钦 |
| 其它发明人: | |
| 国外申请日期: | |
| 国外申请方式: | |
| 专利授权日期: | |
| 缴费情况: | |
| 实施情况: | |
| 专利证书号: | |
| 专利摘要: | 本发明涉及纳米加工技术领域，公开了一种制作百纳米级螺线管或网 状结构的方法，该方法包括：A、对基片衬底进行热处理；B、在衬底上 涂敷具有反转特性的电子抗蚀剂；C、对涂敷电子抗蚀剂进行前烘；D、 对电子抗蚀剂进行电子束直写曝光；E、实施反转显影及过显影；F、定影。 利用本发明，简化了制作工艺，达到了利用平面曝光得到立体结构的目的。 |
| 其它备注: | |
科研产出