| 专利名称: | 一种气敏传感器 |
| 专利类别: | |
| 申请号: | 200710117612.9 |
| 申请日期: | 2007-06-20 |
| 专利号: | CN101329291 |
| 第一发明人: | 黄钦文 景玉鹏 陈大鹏 欧 毅 叶甜春 |
| 其它发明人: | |
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| 专利摘要: | 本发明涉及微机电系统技术领域，公开了一种气敏传感器，包括单晶 硅衬底，起支撑作用的二氧化硅/氮化硅层，加热测温电极、叉指电极，加 热测温电极和叉指电极之间的电绝缘层，叉指电极引出线压焊点、加热测 温电极引出线压焊点和气体敏感层；所述电绝缘层在所述加热测温电极形 成后淀积在所述加热测温电极上，所述叉指电极形成于所述电绝缘层上， 所述气体敏感层淀积在所述叉指电极上。利用本发明，提高了器件被加热 的工作区域部分与周围的热绝缘，降低了器件功耗，简化了器件中加热和 测温部分的结构，有利于器件的大量生产以及和信号采集处理电路的集 成。 |
| 其它备注: | |
科研产出