| 专利名称: | 一种微机电系统磁执行器的制作方法 |
| 专利类别: | |
| 申请号: | 200710121074.0 |
| 申请日期: | 2007-08-29 |
| 专利号: | CN101376489 |
| 第一发明人: | 易 亮 欧 毅 陈大鹏 景玉鹏 叶甜春 |
| 其它发明人: | |
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| 专利摘要: | 本发明涉及微机电系统微型执行器技术领域，公开了一种微机电系统 磁执行器的制作方法，包括：A.在硅芯片下表面上淀积氮化硅薄膜，上 表面上淀积氧化硅薄膜；B.保护正面，背面光刻，刻蚀形成氮化硅薄膜 窗口；C.正面光刻，刻蚀形成氮化硅薄膜执行器图形；D.正面光刻， 打底胶，电子束蒸发Cr/Au，剥离形成金属线圈及电极；E.正面光刻， 打底胶，蒸发种子层，电镀金；F.正面光刻，打底胶，去金去铬；G.正 面泛曝，显影，打底胶，保护正面，腐蚀背面体硅直到氧化硅层；H.腐 蚀氧化硅，释放执行器。本发明利用磁力为推动力，增强了执行器偏移振 动能力，利用光刻胶作为绝缘材料，简化了制作工艺，避免了可能存在的 应力、热效应等问题。 |
| 其它备注: | |
科研产出