| 专利名称: | 带光纤定位槽的斜面接收光电探测器及其阵列的制作方法 |
| 专利类别: | |
| 申请号: | 200710121503.4 |
| 申请日期: | 2007-09-07 |
| 专利号: | CN101382623 |
| 第一发明人: | 申华军 万里兮 李志华 杨成樾 李宝霞 |
| 其它发明人: | |
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| 专利摘要: | 本发明涉及光纤通信技术领域，公开了一种带光纤定位槽的斜面接收 光电探测器的制作方法，在斜面接收光电探测器SVPD的制作过程中增加 光纤定位槽腐蚀工艺，在SVPD的相对一侧朝向SVPD有源区的方向上腐 蚀半导体衬底形成用于容纳对准光纤的光纤定位槽，将光纤定位槽与 SVPD集成为一体，位于光纤定位槽的光纤的中心精确对准SVPD的有源 区中心。本发明同时公开了一种带光纤定位槽的斜面接收光电探测器阵列 的制作方法。利用本发明，使光纤和SVPD的对准精度在微米量级，克服 了定位精度的漂移问题，提高了定位精度的可靠性，并降低了光纤对准定 位的难度，降低了光纤对准定位的成本。 |
| 其它备注: | |
科研产出