| 专利名称: | 一种微尖端阵列器件及其制作方法 |
| 专利类别: | |
| 申请号: | 200710176936.X |
| 申请日期: | 2007-11-07 |
| 专利号: | CN101430938 |
| 第一发明人: | 陈大鹏 傅剑宇 景玉鹏 欧 毅 叶甜春 |
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| 专利摘要: | 本发明涉及微电子技术中的深亚微米、纳米加工技术领域，公开了一 种微尖端阵列器件，该器件由微尖端阵列、COMS控制电路单元和连接柱 构成；微尖端阵列包括多个微尖端，每个微尖端通过一个连接柱与COMS 控制电路单元进行机械和电学连接；COMS控制电路单元用于控制微尖端 阵列中微尖端进行独立工作；连接柱用于实现微尖端阵列中微尖端与 CMOS控制单元的机械和电学连接。本发明同时公开了一种微尖端阵列器 件的制作方法。利用本发明，通过CMOS电路控制金属尖端场致发射电子 束，实现了高分辨率纳米级图形加工和高密度数据存储，并通过微尖端阵 列化解决了单探针工作效率低的问题。 |
| 其它备注: | |
科研产出