专利名称: 三维CMOS与分子开关器件的混合集成电路结构
专利类别:
申请号: 200710176934.0
申请日期: 2007-11-07
专利号: CN101431070
第一发明人: 涂德钰 刘 明 王 慰 商立伟 谢常青
其它发明人:
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国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要: 本发明涉及微电子学与分子电子学中的纳米电路结构技术领域,公开
了一种三维CMOS与分子开关器件的混合集成电路结构,该结构从上至下
依次由顶层CMOS器件、分子开关器件和底层CMOS器件连接而成;所
述顶层CMOS器件通过通孔与分子开关器件上电极连接,底层CMOS器
件通过通孔与分子开关器件下电极连接,所述顶层CMOS器件与底层
CMOS器件键合连接在一起。利用本发明,避免了不在同一平面上的通孔
与上下电极的影响,同时将电路集成度提高了一倍,具有较高的创新意义
及实用价值。
其它备注: