| 专利名称: | 基于衬底硅作固支的微机械悬臂梁阵列的制作方法 |
| 专利类别: | |
| 申请号: | 200710177792.X |
| 申请日期: | 2007-11-21 |
| 专利号: | CN101439842 |
| 第一发明人: | 石莎莉 陈大鹏 景玉鹏 欧 毅 叶甜春 |
| 其它发明人: | |
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| 专利摘要: | 本发明公开了一种基于衬底硅作固支的微机械悬臂梁阵列的制作方 法，该方法包括：在<100>硅衬底上双面淀积SiNx薄膜；表面光刻，刻蚀 SiNx薄膜，形成腐蚀窗口，去胶；腐蚀硅衬底，形成中心带衬底硅固支柱 的正方形悬臂梁阵列；正面光刻，刻蚀SiNx薄膜，去胶，形成单点固支、 对称型、高长宽比的长方形悬臂梁阵列，或者形成固支在一端的长方形悬 臂梁阵列。利用本发明，简化了制作工艺，能够适应大规模生产的要求。 |
| 其它备注: | |
科研产出