| 专利名称: | 一种纳米压印光刻机 |
| 专利类别: | |
| 申请号: | 200710178789.X |
| 申请日期: | 2007-12-05 |
| 专利号: | CN101452207 |
| 第一发明人: | 姜 骥 谢常青 岑专专 商立伟 刘兴华 刘 明 |
| 其它发明人: | |
| 国外申请日期: | |
| 国外申请方式: | |
| 专利授权日期: | |
| 缴费情况: | |
| 实施情况: | |
| 专利证书号: | |
| 专利摘要: | 本发明公开了一种纳米压印光刻机，包括底座、加热板、垫片、 内六角螺钉、支架、传动导向压杆、十字槽沉头螺钉、螺杆和扭力计。 所述加热板放置在底座上，垫片放置在加热板上，支架放置在垫片上， 且所述支架、垫片和加热板通过内六角螺钉固定在底座上；所述支架 的上梁中心处设有螺孔，下梁中心处设有通孔；螺杆套接在上梁螺孔 内，传动导向压杆套接在下梁通孔内，螺杆和传动导向压杆相连并套 接在支架的梁上；所述十字槽沉头螺钉从支架下梁前面中心处螺孔旋 进，并顶住传动导向压杆中间圆柱外表面的条形凹槽；所述螺杆上端 与扭力计相连。本发明提供一种结构简单、制作成本低、操作方便和 使用可靠的纳米压印光刻机。 |
| 其它备注: | |
科研产出