| 专利名称: | 一种制备p型砷化镓欧姆接触的方法 |
| 专利类别: | |
| 申请号: | 200710178771.X |
| 申请日期: | 2007-12-05 |
| 专利号: | CN101452843 |
| 第一发明人: | 吴茹菲 张海英 尹军舰 |
| 其它发明人: | |
| 国外申请日期: | |
| 国外申请方式: | |
| 专利授权日期: | |
| 缴费情况: | |
| 实施情况: | |
| 专利证书号: | |
| 专利摘要: | 本发明公开了一种制备p型砷化镓欧姆接触的方法，该方法采用 Pt/Ti/Au的金属材料组合作为p型砷化镓的欧姆接触金属，在375℃下 将金属材料组合Pt/Ti/Au合金1分钟，形成p型砷化镓的欧姆接触。 利用本发明，能够有效降低p型砷化镓欧姆接触的比接触电阻，将p 型砷化镓欧姆接触的比接触电阻降低至5.9×10-6Ω·cm2。 |
| 其它备注: | |
科研产出