| 专利名称: | 一种太阳能电池刻边机反应室结构 |
| 专利类别: | |
| 申请号: | 200710303893.7 |
| 申请日期: | 2007-12-26 |
| 专利号: | CN101471395 |
| 第一发明人: | 刘训春 周宗义 李 兵 王 佳 张育胜 张永利 |
| 其它发明人: | |
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| 专利摘要: | 本发明一种太阳能电池刻边机反应室结构，它的腔壁与太阳电池片形 状相似，呈方形，四角处可呈切角状或弧形，并作为产生辉光放电的射频 供电的一个电极接地，腔室中间有一个金属电极接射频输出，该金属射频 电极上放置有一结构特殊的载片架。在载片架中重叠在一起的硅片的边沿 与腔壁之间的空间产生等离子体辉光，从而对载片架上的硅片边沿进行腐 蚀。该反应室结构可使太阳能电池片的边沿钻蚀明显地减小，因而可提高 太阳能电池片的转换效率和每批产品的一致性，同时它还有载片量大、刻 蚀均匀性好等优点。 |
| 其它备注: | |
科研产出