| 专利名称: | 一种带硅支撑框架的全镂空结构光调制热成像焦平面阵列 |
| 专利类别: | |
| 申请号: | 200910080275.X |
| 申请日期: | 2009-03-17 |
| 专利号: | CN101498607 |
| 第一发明人: | 焦斌斌 陈大鹏 欧 毅 叶甜春 |
| 其它发明人: | |
| 国外申请日期: | |
| 国外申请方式: | |
| 专利授权日期: | |
| 缴费情况: | |
| 实施情况: | |
| 专利证书号: | |
| 专利摘要: | 本发明涉及用于获取并转换红外信号的传感组件，尤其涉及一种带 有硅支撑框架的全镂空光调制热成像焦平面阵列，本发明由外框和内框 构成，该内框为网格状，设置在所述的外框内，形成多个镂空单元；每 个镂空单元内设置一个微悬臂单元，该微悬臂单元与构成镂空结构的内 框或外框相连接。 |
| 其它备注: | |
科研产出